質問

オゾン水でアルミや銅製品の洗浄をすると、すぐにアルミや銅にダメージが発生しますか？

腐食する可能性はあります。

弊社製品で各材質に対してどの程度オゾン耐性があるかについては検証しておりません。

一般的に金属の場合はステンレス、チタンはオゾン耐性が強く、銅や鉄はオゾン耐性が低いです。（表面をグリースや樹脂系の塗装で処理が行われているものはオゾンによる腐食を防ぐことができます。）
アルミについてはもオゾン耐性はありますが、オゾン濃度や接触時間、環境によりダメージが発生する可能性はあります。

下記の表に素材ごとのオゾン耐性をまとめました。ご参照ください。

各材質とオゾン耐性

※1　表面が、グリース・樹脂系の塗装で覆われていればオゾンによるさび、腐食を防ぐことが可能。

※オゾン耐性に優れている材質でも、オゾン濃度や接触時間によって、劣化する可能性はあります。